柯少颖老师申报的“Si基InP赝衬底匹配外延GeSn机理及GeSn中波红外线阵探测器研究”获得国家自然科学基金面上项目的资助。项目编号:62574103,起止时间:2026.01-2029.12,经费54万元。
本项目创新提出“赝衬底剥离+晶格匹配外延”的异质集成策略,探索InP/Si异质键合机制与缺陷传播规律,揭示表面活化对化学键重构的影响机制,阐明键合界面晶格阻断层对位错与翘曲的抑制作用,实现高质量Si基InP赝衬底制备;其次,揭示GeSn/InP外延生长动力学与相分离热力学耦合机制,探究偏角InP赝衬底原子台阶对外延成核位点的调控作用,阐明应变弛豫与Sn偏析耦合效应,获得高质量高Sn组分GeSn薄膜;最后,探索Ⅱ型能带对齐结构中载流子双向输运屏障机理,阐明窄带隙器件暗电流与光谱权衡关系,研制出1×128低暗电流、宽光谱PIN型GeSn中波红外线阵探测器,为中红外芯片自主可控提供核心技术支撑。